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エタック 絶縁劣化評価システム(イオンマイグレーション)
イオンマイグレーションと絶縁抵抗測定および絶縁特性評価を可能にしました
■全chに微小電流計を持っているため、微小抵抗値を連続かつ
  高速(40ms/8ch)で測定でき、瞬時に発生、終息する
  イオンマイグレーション現象を性格に捉えます
■250V計測ボードは、8ch/1電源のMax128ch。500V及び
  1KV計測ボードは、 1ch/1電源のMax64ch。
  新設計の120V計測ボードは、1chごとに
  試験条件(印加電圧、電流測定値)を 設定できます。
■ストレス印加電圧と測定電圧を任意に設定することができるうえ、
  切換タイミングによる測定漏れが発生しません。
■従来モデルの測定ボードも併用可能です。


印加電圧
 120V・250V・500V・1KV DC
測定チャンネル
 16ch/ボード(Max.128ch)
 ※120V、500V、1KVは8ch/ボード(Max.6.4)
測定チャンネル

 1) 320μA〜10nA
 2) 3.2μA〜100pA
 3) 32μA〜1pA

マイグレーション測定速度
 40ms(8ch)

エタック 接合信頼性評価システム
AC/DC共用の2Way Useタイプ

■交流のみならず、直流4端子測定(AC/DC)も可能になりました。
  新設計のAC測定ボードでは、微小抵抗域(0.1μΩ〜2KΩ)を
  高速(2sec/8ch)かつ高精度に測定できます。
■温度サイクル試験器と同期したシステムアップ(一元管理)
■BGA/CSPに代表される高密度実装品のはんだ接合評価や
  ビルドアップ基板導通部のオープンチェックテスタとして、
  あるいはコネクタやソケットの接触抵抗測定などに要求される
  多点・連続測定分野に適しています。
 



測定抵抗値範囲
及び測定レンジ
 1) 2.000KΩレンジ(1Ω分解)
 2) 200.0Ωレンジ(100mΩ分解能)
 3) 20.00Ωレンジ(10mΩ分解能)
 4) 2.000Ωレンジ(1mΩ分解能)
 5) 200.0mΩ(100μΩ分解能)
 6) 20.00mΩ(100μΩ分解能)
測定周波数
 2KHz固定
測定電圧

 20mV(rms)以下

測定点数
 32ch/スキャナボード(最大256ch)

エタック 容量性絶縁特性評価システム
コンデンサ、LCフィルタなどの絶縁特性を自動計測
コンデンサ、LCフィルタなど、容量成分を持った電子部品の絶縁特性評価に必要なリーク電流、絶縁抵抗、温湿度データの自動計測に最適です。試料をセットする測定治具(最小寸法1005までセット可能)と、これを環境試験器に作業よく整理できる専用ラックも合わせてお届けします。

■ストレス電圧と測定電圧は個別に設定できます
■250V計測ボードは、8ch/1電源方式(Max.16ch)です
■500V及び1Kv計測ボードは1ch/1電源方式(Max.8ch)です
■判定はあらかじめNGしきい値と電圧異常しきい値を設定し、
  ストレス印加、特性測定中でも測定を行い、NGを判定


測定抵抗値範囲
及び
測定レンジ

 1) 320μA〜10nA
 2) 3.2μA〜100pA
 3) 32μA〜10pA
 4) オートレンジ(上記3レンジから最適レンジを選択)


エタック コンデンサ特性評価システム
コンデンサの主要特性を自動測定することが可能

■コンデンサの主要特性である静電容量(C)・Tanб(D)・インピーダンス(|Z|)
  温度などを自動計測します
■測定部はAgilent Technologies社のLCRメータ(HP4284A)を採用し、
  これにエタックの環境試験器(HIFLEX)を組合せ、 試料の数に応じた
  スキャナ(HP3499A)を使用した多点自動計測システムです。
■コンデンサ20ケの自動測定が可能です。(4ケ単位で最大40ケまで増設可)


測定周波数
 20〜1KHz
測定信号レベル
 ノーマル:5m〜2V、50μ〜20mA
 コンスタント:10m〜1V、100μ〜20mA
バイアス信号

 1.5V、2Vのいずれか

低温恒温器
 温度範囲  : -70 〜 +150℃
 内寸法   : W500×H750×D600mm

エタック コンデンサ寿命試験システム
長時間にわたるコンデンサ寿命試験を全自動化
1ch当たり最大で500V・50mAのハイパワー設計で、長時間にわたるコンデンサの寿命試験をすべて自動で行います。

■テスタはコンデンサ20ケを1chとし、独立制御可能なパーピン仕様です。
■200ケ(10ch)を最小測定単位とし、最大2ラックに4,000ケ(200ch)まで
  拡張可能です。
■エタック独自設計の専用治具により、容易に脱着作業が行え、
  高精度な測定が可能です。


総試験時間
 0.1 〜 9999.9H
設定温度
 +60 〜 +180℃ (恒温器の動作範囲で使用します)
印加電圧

 1.0V 〜 500.0V

測定レンジ
 50.0mA / 5.00mA / 0.500mA / AUTO
収録間隔
 1M 〜 999M
判定電流
 0.001mA 〜 50.0mA
再判定時間
 0.0S 〜 10.0S
恒温器
 温度範囲 : 室温+20〜+200℃ 
 内寸法   : W450×H450×D450mm 

エタック エレクトマイグレーション評価システム(EMテスタ)
EM評価において大電流印加、高精度測定を実現
AI及びCuの配線信頼性評価の1つであるエレクトロマイグレーション現象を高電流印加、高精度測定で評価するEM テスタを中心に、加熱方式はオーブンタイプ(熱風循環方式:V100)とDHタイプ(直接加熱方式:V200・V400)の2 タイプから選択できます。

■パーピン仕様によりTEGごとの計測が正確に行えます
■1システムで60水準の評価が可能です(最小12TEG/1水準)


温度範囲
 V100 : 250℃MAX
 V200 : 300℃MAX
 V400 : 400℃MAX
ストレス範囲
 0.01 〜 500mA
測定範囲

 0.001 〜  100.00V

TEG形状
 Dip600ミル28Pin
評価TEG数
 V100 : 720TEG
 V200 : 144TEG
 V400 : 144TEG

エタック 酸化膜信頼性評価システム(TDDB)
多数の試料に対し、ゲート酸化膜の信頼性評価を同時に測定可能
TDDB(Time-Dependent Dielectric Breakdoen)法により、
ゲート酸化膜の信頼性評価を行うことを目的とした装置です。
チャンネル毎に電源を備えているため、ゲート酸化膜に対する
電界依存性、電流密度依存性を多数の試料に対して同時に測定することが
できる上、多水準測定も可能です。
マニュアルプローバ、恒温槽、フルオートプローバとの接続が可能です。


印加部
 電圧範囲 : 500μV 〜 150V
 電流範囲 : 100pA 〜 20mA
測定部
 電圧範囲 : 500μV 〜 150V
 電流範囲 : 10pA 〜 20mA
TEG数

 16ch/SMUボード
 最大320ch


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